无尘烤箱即无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。 一、温度匀称性差 原因: 1、功率调配不正当; 2、电热部件路劫; 3、炉子构造不正当招致全部散热过大; 4、炉子密封不L良,全部散热能过大; 5、带风机的炉子气体重复不匀称或者电力有余; 6、热电偶装置地位或者插人深浅使不得体现实正在温度; 7、电热部件散布不正当; 8、炉底温度偏偏低; 9、加热电源缺相,安Q全丝断。 处理办法: 1、从新打算改良功率配置; 2、改换路劫的电热部件; 3、改良炉子构造或者改良结冰办法; 4、审查炉子密封,消弭密封不L良要素; 5、正当安放作件,增微风机的电力; 6、正当取舍热电偶装置地位或者插人深浅; 7、调动电热部件散布; 8、增大炉底加热功率; 9、审查加热电源通路。 二、温度控制失效 原因: 1、温度量具受到干扰; 2、热电偶信号受到干扰; 3、热电偶接触不L良; 4、弥补导线短路或者路劫; 5、热电偶距电热部件太近; 6、温度控制回路发作故障; 7、热电偶遭到了侵蚀,电特点发作了变迁; 8、热电偶对于地,掩护管绝缘升高; 处理办法: 1、采取措施消弭搅扰源; 2、对于信号线增多屏障; 3、紧固热电偶接报端子; 4、审查弥补导线; 5、调动两者间的间隔; 6、培修温度控制回路; 7、改换热电偶; 8、审查热电偶绝缘状况; 三、温度显现值偏低 原因: 1、热电偶参考端温度太高; 2、热电偶栅极漏电; 3、热电偶栅极蜕变; 4、热电偶丈量地位太远; 5、弥补导线与热电偶不匹配; 6、弥补导线与热电偶极性接反; 7、弥补导线绝缘升高 处理办法: 1、审查参考端温度,应相符请求; 2、审查栅极、接报联接; 3、改换热电偶; 4、调动丈量地位; 5、改换弥补导线; 6、准确联接弥补导线; 7、改换弥补导线; 四、温度显现平衡固 原因: 1、热电偶栅极接触不L良; 2、热电偶有断续短路或者路劫; 3、热电偶有断续接地; 4、热电偶地位一直变迁; 5、弥补导线有接地、断续短路或者路劫; 6、温度显现量具故障; 处理办法: 1、从新联接热电偶; 2、审查热电偶消弭故障点或者改换; 3、消弭接地方; 4、流动好热电偶; 5、审查弥补导线,消弭故障点; 6、培修或者改换温度显现表。
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